等离子体烟气脱硫等离子体烟气脱硫技术研究始于70年代，目前世界上已较大规模开展研究的方法有2类：电子束法电子束辐照含有水蒸气的烟气时，会使烟气中的分子如O2、H2O等处于激发态、离子或裂解，产生强氧化性的自由基O、OH、HO2和O3等。这些自由基对烟气中的SO2和NO进行氧化，脱硫脱硝设备，分别变成SO3和NO2或相应的酸。在有氨存在的情况下，生成较稳定的硫铵和硫xiao铵固体，它们被除尘器捕集下来而达到脱硫脱硝的目的。
NID 干法NID（New Integrated Desuifurization）法原理为石灰粉经过石灰消化器（LDH）消化后进入反应器，与烟气中的 SO2发生化学反应，生成 CaSO3和 CaSO4，烟气中的 SO2被脱除。NID 干法具有投资低，方便可行的特点，用于中小型容量机组，当煤中含硫量<2%时，脱硫效率至少可达80%，河北脱硫脱硝设备，且原料消耗和能耗都比喷雾干燥法有大幅度下降[2] 。
磷铵肥法磷铵肥法烟气脱硫技术属于回收法，脱硫脱硝设备，以其副产品为磷铵而命名。该工艺脱硫流程过程主要由吸附（活性炭脱硫制酸）、萃取（稀硫酸分解磷矿萃取磷酸）、中和（磷铵中和液制备）、吸收（磷铵液脱硫制肥）、氧化（亚硫酸铵氧化）、浓缩干燥（固体肥料制备）等单元组成。它分为两个系统：烟气脱硫系统——烟气经除尘器后使含尘量小于200mg/Nm3，用风机将烟压升高到7000Pa，先经文氏管喷水降温调湿，然后进入四塔并列的活性炭脱硫塔组（其中一只塔周期性切换再生），控制一级脱硫率大于或等于70%，并制得30%左右浓度的硫酸，一级脱硫后的烟气进入二级脱硫塔用磷铵浆液洗涤脱硫，净化后的烟气经分离雾沫后排放。
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